全自動掃描電鏡是生產(chǎn)工藝中的關鍵設備 ，全自動掃描電鏡采用強大的ARM 32位嵌入式微處理器平臺，內置的RISC指令系統(tǒng)，為嚴謹復雜的計算運行提供保障，寬大的彩色觸摸顯示屏、創(chuàng)新的界面軟件，存儲量可多達1000組數(shù)據(jù)信息，可通過U盤、SD卡等移動設備將數(shù)據(jù)導出或通過USB、RS232接口直接連接PC。

全自動sem掃描電鏡保證整個測試過程能夠在一個可控的恒定溫度下進行，確保了測試結果的穩(wěn)定性、準確性，標配高分辨率CCD傳感器，通過獨特的信號采集和分析處理技術，能夠準確地完成各種樣品的分析實驗，高亮度LED光源，光色純正，使用壽命超過100000小時。位于試樣槽內的藍寶石級棱鏡，是普通棱鏡耐磨損程度的30倍，巧妙的清洗設計，避免了常規(guī)清洗所帶來的繁瑣及棱鏡劃傷。

全自動掃描電鏡是一款全自動、無損顯微分析系統(tǒng)，可針對幾乎所有無機材料和部分有機材料，迅速提供在統(tǒng)計學上可靠且可重復的礦物學、巖相學和冶金學數(shù)據(jù)，在采礦業(yè)，全自動sem掃描電鏡可用于礦產(chǎn)勘查、礦石表征和選礦工藝優(yōu)化。在石油和天然氣行業(yè)，對鉆井巖屑和巖心試樣進行顯微分析，從而降低風險并提高采收率。在煤炭行業(yè)，利用該系統(tǒng)自動分析煤、煤粉和煤燃燒產(chǎn)物，可以更好地了解煤燃燒和廢物利用情況。

由于高能電子與物質的相互作用，結果在試樣上產(chǎn)生各種信息如二次電子、背反射電子、俄歇電子、X射線、陰發(fā)光、吸收電子和透射電子等。因為從試樣中所得到各種信息的強度和分布各自同試樣表面形貌、成分、晶體取向、以及表面狀態(tài)的一些物理性質（如電性質、磁性質等）等因素有關，因此，通過接收和處理這些信息，就可以獲得表征試樣形貌的掃描電子像，或進行晶體學分析或成分分析。

在全自動掃描電鏡應用中，很多集中在半導體器件和集成電路方面，它可以很詳細地檢查器件工作時局部表面電壓變化的實際情況，這是因為這種變化會帶來象的反差的變化，焊接開裂和腐蝕表面的細節(jié)或相互關系可以很容易地觀察到。