掃描電鏡的制造是依據(jù)電子與物質(zhì)的相互作用。當(dāng)一束高能的入射電子轟擊物質(zhì)表面時(shí)，被激發(fā)的區(qū)域?qū)a(chǎn)生二次電子、俄歇電子、特征x射線和連續(xù)譜X射線、背散射電子、透射電子，以及在可見(jiàn)、紫外、紅外光區(qū)域產(chǎn)生的電磁輻射。同時(shí)，也可產(chǎn)生電子-空穴對(duì)、晶格振動(dòng) （聲子）、電子振蕩 （等離子體）。原則上講，利用電子和物質(zhì)的相互作用，可以獲取被測(cè)樣品本身的各種物理、化學(xué)性質(zhì)的信息，如形貌、組成、晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)和內(nèi)部電場(chǎng)或磁場(chǎng)等。

sem掃描電鏡機(jī)構(gòu)組成

掃描電鏡由三大部分組成：真空系統(tǒng)，電子束系統(tǒng)以及成像系統(tǒng)。

sem掃描電鏡基本參數(shù)

放大率：通過(guò)控制掃描區(qū)域的大小來(lái)控制放大率的。如果需要更高的放大率，只需要掃描更小的一塊面積就可以了。放大率由屏幕/照片面積除以?huà)呙杳娣e得到

場(chǎng)深：掃描電鏡中，位于焦平面上下的一小層區(qū)域內(nèi)的樣品點(diǎn)都可以得到良好的會(huì)焦而成象。這一小層的厚度稱(chēng)為場(chǎng)深，通常為幾納米厚，所以，sem掃描電鏡可以用于納米級(jí)樣品的三維成像。

工作距離：工作距離指從物鏡到樣品高點(diǎn)的垂直距離。

如果增加工作距離，可以在其他條件不變的情況下獲得更大的場(chǎng)深。  

如果減少工作距離，則可以在其他條件不變的情況下獲得更高的分辨率。

通常使用的工作距離在5毫米到10毫米之間。

掃描電鏡應(yīng)用

生物：種子、花粉、細(xì)菌等;

醫(yī)學(xué)：血球、病毒等;

動(dòng)物：大腸、絨毛、細(xì)胞、纖維等;

材料：陶瓷、高分子、粉末、環(huán)氧樹(shù)脂等;

化學(xué)、物理、地質(zhì)、冶金、礦物 、機(jī)械、電機(jī)及導(dǎo)電性樣品、電子材料等。