掃描電鏡是當(dāng)前眾多領(lǐng)域必備的檢測工具。由于sem掃描電鏡結(jié)構(gòu)復(fù)雜，需要多套系統(tǒng)配合工作，一日出故障，很難判斷問題，所在日常維護(hù)很重要。這兩期文章，小編將會(huì)就掃描電鏡的維護(hù)與您分享一丟丟經(jīng)驗(yàn)~

sem掃描電鏡維護(hù)要點(diǎn)之一：設(shè)備各項(xiàng)參數(shù)的檢查和記錄

√做好使用記錄，可以保證故障的可追溯性，便于故障排除

√將數(shù)據(jù)(設(shè)備的真空參數(shù)和各項(xiàng)電流參數(shù))做成表格

掃描電鏡維護(hù)要點(diǎn)之二：專業(yè)人員定期系統(tǒng)維護(hù)

√5x8小時(shí)工作的設(shè)備至少每年維護(hù)一次

√7x24小時(shí)工作的設(shè)備至少每半年維護(hù)一次

sem掃描電鏡維護(hù)要點(diǎn)之三：房間溫濕度檢查

√每天檢查

√房間溫度應(yīng)當(dāng)控制在19~25℃(尤其夏季) 空調(diào)出故障時(shí)，及時(shí)關(guān)閉掃描電鏡和水冷機(jī)

√房間濕度應(yīng)當(dāng)小于65%

濕度對(duì)sem掃描電鏡的損害是一個(gè)長期緩慢又不易被發(fā)現(xiàn)的過程，潮濕地區(qū)需讓抽濕機(jī)全天運(yùn)轉(zhuǎn)

常見危害案例:

曾經(jīng)有客戶反饋掃描電鏡的自檢程序報(bào)錯(cuò)，sem掃描電鏡樣品臺(tái)不能初始化且圖像異常。檢查結(jié)果:前空調(diào)故障導(dǎo)致電路板上有大量冷凝水，進(jìn)而對(duì)多塊電路板及物鏡造成損壞。所以要控制好房間的溫度，發(fā)現(xiàn)空調(diào)有問題，及時(shí)關(guān)閉掃描電鏡和水冷機(jī)。而濕度過高也會(huì)引發(fā)sem掃描電鏡各種問題，如接口腐蝕等。

掃描電鏡維護(hù)要點(diǎn)之四：真空泵定期檢查和保養(yǎng)

√真空油泵的定期維護(hù)

每個(gè)月檢查泵油的使用情況，確保油位在兩個(gè)刻度線之間。用毛刷或者吸塵器清潔真空泵散熱風(fēng)扇。

√油泵的定期保養(yǎng)

每年更換油泵的泵油

√真空干泵的定期維護(hù)

檢查真空泵工作時(shí)是否有異響，清潔真空泵散熱風(fēng)扇。

√干泵的定期保養(yǎng)

每年更換真空泵密封套件。

以上就是小編介紹的sem掃描電鏡的維護(hù)要點(diǎn)啦!您的掃描電鏡一直期待著您的日常關(guān)心哦~~下期我們將繼續(xù)講解掃描電鏡日常維護(hù)剩余的幾點(diǎn)注意事項(xiàng)，敬請(qǐng)期待