sem掃描電鏡如何準(zhǔn)備測(cè)試樣品?
日期:2022-12-13 11:14:47 瀏覽次數(shù):166
掃描電鏡是一種平面形貌表征測(cè)試技術(shù),具備一定的三維方向上的表征能力,但受限于電子探針的檢測(cè)深度有限,在垂直于視場(chǎng)方向上景深一般不超過(guò)1μm,結(jié)合sem掃描電鏡的測(cè)試原理,對(duì)于樣品的要求主要有如下兩點(diǎn):
1.樣品表面起伏不大;
2.樣品表面導(dǎo)電。
這就確定了制樣的基本原則:
1、對(duì)于宏觀粉末樣品,直接平鋪分散到導(dǎo)電膠上即可;
2、對(duì)于塊狀樣品,則需要將待觀察面朝上,且待觀察面需要與樣平臺(tái)面保持平行,固定于樣平臺(tái)上。對(duì)于導(dǎo)電性差的材料,需要進(jìn)行表面噴金或通過(guò)導(dǎo)電膠粘連樣品表面和樣平臺(tái)的手段,*終目的仍然是保證待觀察面的平整和導(dǎo)電。
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