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SEM掃描電鏡放大倍數(shù)計算方式

日期:2023-04-23 09:52:23 瀏覽次數(shù):233

掃描電鏡是一種高分辨率顯微技術(shù),可以通過掃描樣品表面并探測樣品表面反射、散射的電子信號來獲得樣品表面形貌、結(jié)構(gòu)和組成等信息。SEM掃描電鏡可以通過改變電子束的聚焦和放大倍數(shù)來調(diào)節(jié)圖像的放大程度,下面是掃描電鏡放大倍數(shù)計算方式的簡要介紹。

掃描電鏡.jpg

SEM掃描電鏡圖像的放大倍數(shù)通常分為實際放大倍數(shù)和顯示放大倍數(shù)兩種。

實際放大倍數(shù) = 探測器到樣品距離 / 樣品上所顯示的實際長度

探測器到樣品距離指的是電子槍和樣品之間的距離,這個距離可以由掃描電鏡中的聚焦系統(tǒng)調(diào)節(jié),探測器到樣品距離越小,則實際放大倍數(shù)越大。

樣品上所顯示的實際長度可以由樣品尺寸進行測量得到,例如SEM掃描電鏡圖像中一條線的長度可以通過顯微鏡測量尺寸得到。

顯示放大倍數(shù)是掃描電鏡圖像在顯示器上顯示的放大倍數(shù),通常是實際放大倍數(shù)的一個固定倍數(shù),可以由SEM掃描電鏡中的圖像處理系統(tǒng)進行調(diào)節(jié)。例如,如果實際放大倍數(shù)是1000,顯示放大倍數(shù)是2000,則掃描電鏡圖像在顯示器上顯示的放大倍數(shù)是2000。

需要注意的是,SEM掃描電鏡中的放大倍數(shù)是指圖像的線性放大倍數(shù),即圖像中一個單位長度在樣品上所對應(yīng)的長度,而不是面積放大倍數(shù)或體積放大倍數(shù)。因此,在使用掃描電鏡進行圖像分析和測量時,需要了解和計算實際放大倍數(shù)和顯示放大倍數(shù)。


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