SEM 掃描電鏡不同類型樣品制備方法的介紹
日期:2023-09-13 09:28:17 瀏覽次數(shù):53
SEM 掃描電鏡不同類型樣品制備方法的介紹:
塊狀樣品
① 小塊體樣品直接固定在碳導(dǎo)電膠帶上
② 塊體較大或需要高分辨觀測的樣片,一般在碳導(dǎo)電膠帶上固定后再在其四周刷碳膠或銀膠,使固定更加牢靠,不易發(fā)生漂移
③ 樣品表面固定碳膠帶連接到樣品臺上,輔助固定,增加導(dǎo)電性
粉末樣品
① 首要原則是粉量少
粉量過多的危害:
① 對儀器:表面浮粉易污染樣品室、鏡筒、甚至堵塞光闌
② 對操作者:表面浮粉并未直接接觸導(dǎo)電膠帶,在電子束的作用下有可能引起樣品的移動(dòng)且極易荷電,難以獲取高質(zhì)量圖片,對觀測和分析都帶來影響
粉末樣品-常規(guī)粉體
① 固定導(dǎo)電膠帶,用牙簽挑出少量粉體,將粉體彈到導(dǎo)電膠帶上,用洗耳球/壓縮空氣吹掉浮粉,適量粉體
② 切勿將膠帶直接按壓在粉體中或用藥匙取大量粉體按壓在膠帶上
粉末樣品-小顆?;蛞讏F(tuán)聚粉體
① 用稀釋溶劑對粉體進(jìn)行稀釋,一般為水、無水乙醇等
② 進(jìn)行超聲,時(shí)間一般為5-10min,視樣品而定
③ 超聲結(jié)束后立即取用,避免再團(tuán)聚
④ 將稀釋液滴在硅片或鋁/錫箔紙上
⑤ 將樣品放置于干燥箱或紅外烤燈下烘干即可
截面樣品-拋光
① 固定方式:樹脂鑲嵌法&金屬夾板法
② 拋光方式:砂紙研磨&金剛石細(xì)拋&離子束精拋
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