SEM掃描電鏡的工作原理介紹
日期:2023-12-05 09:55:07 瀏覽次數:36
掃描電鏡的電子放大倍數可由十幾倍連續(xù)變化到幾十萬倍。因此可以對樣品的整個表面進行比較仔細的觀察。
SEM掃描電鏡的根本原理是利用聚焦的很窄的高能電子束來掃描樣品, 通過光束與物質間的相互作用, 來激發(fā)各種物理信息, 對這些信息收集、放大、再成像以達到對物質微觀形貌表征和觀察。
掃描電鏡的工作原理與光學顯微鏡或透射電鏡不同,在光學顯微鏡和透射電鏡下,全部圖像一次顯出,是“靜態(tài)”的;而掃描電鏡則是把來自二次電子的圖像信號作為時像信號,將一點一點的畫面“動態(tài)”地形成三維的圖像,是研究三維表層構造的有利工具。
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