SEM掃描電鏡的5個操作技巧介紹
日期:2024-02-22 09:40:57 瀏覽次數(shù):63
掃描電鏡的操作技巧主要包括以下幾個步驟:
1、樣品制備:樣品需要是固體、無毒、無放射性、無污染、無磁、無水,并且成分穩(wěn)定。根據(jù)樣品的種類和所要的結(jié)果,選擇合適的制樣方法。例如,對于塊狀樣品,低倍率觀察可以使用導(dǎo)電膠帶,而高倍率觀察則需要使用液體導(dǎo)電膠。對于粉末樣品,可以直接固定在導(dǎo)電膠帶或者液體導(dǎo)電膠上。同時,需要確保樣品在樣品臺上對應(yīng)正確的編號,以避免觀察錯誤。
2、開電子槍:在開電子槍之前,需要先設(shè)定電子槍的發(fā)射電壓。電壓越大,產(chǎn)生的電子束流的能量越強,分辨率越高,視野越明亮。然而,對于導(dǎo)電性較好的樣品,高電壓只會使視野白茫茫一片,而對于導(dǎo)電性不好的材料,則可以適當(dāng)增加電壓以使視野更清晰。一般來說,使用10~20keV的電壓。設(shè)置好電壓后,就可以點擊開電子槍按鈕,聽到SEM掃描電鏡內(nèi)部有聲音回應(yīng)就表示開槍成功。
3、設(shè)置光斑尺寸:光斑尺寸的調(diào)整可以影響到圖像的分辨率和清晰度。
4、調(diào)整工作距離:工作距離的選擇會影響到電子訊號的接收和分辨率。較短的工作距離可以得到較高的分辨率,但景深會縮短;較長的工作距離則可以得到較長的影像景深,對于表面起伏較大的樣品可以得到較均勻清晰的影像。
5、選擇適當(dāng)?shù)膫蓽y器:偵測器的選擇也會影響到圖像的質(zhì)量和清晰度。
在操作掃描電鏡時,還需要注意一些事項,例如避免震動和磁場干擾、保持樣品室的清潔、定期檢查和維護(hù)設(shè)備等。
以上是SEM掃描電鏡的基本操作技巧介紹,具體操作可能會因設(shè)備型號和實驗需求而有所不同。因此,在實際操作中,建議參考掃描電鏡操作手冊和實驗指南,以確保操作的準(zhǔn)確性和安全性。
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