掃描電鏡需要經(jīng)常維護的部位包括電子槍、電子透鏡、檢測器、電源、電纜、接口等部件，以及設(shè)備的機械部件和軟件。

以下是維護步驟的介紹：

1、定期清洗：使用專門的清洗劑和工具清洗設(shè)備的各個部件，以保持設(shè)備的清潔度和穩(wěn)定性。避免使用有機溶劑和酸堿性強的清潔劑，以免對設(shè)備造成損害。

2、定期更換耗材：耗材包括電子槍、電子透鏡、檢測器等，這些部件在長期使用后會出現(xiàn)磨損和老化現(xiàn)象，需要及時更換。更換時應(yīng)選擇原廠配件，避免使用不合適的配件對設(shè)備造成損害。

3、定期校準(zhǔn)：各個部件需要定期校準(zhǔn)，以保證設(shè)備的精度和準(zhǔn)確性。校準(zhǔn)時應(yīng)按照設(shè)備說明書上的方法進行，避免操作不當(dāng)造成誤差或設(shè)備損壞。

4、定期維護：檢查電源、電纜、接口等部件是否松動或損壞，檢查設(shè)備的機械部件是否正常運轉(zhuǎn)，檢查設(shè)備的軟件是否更新等。維護時應(yīng)注意安全，避免對設(shè)備造成損害或人身傷害。

5、定期保養(yǎng)：需要定期保養(yǎng)以延長設(shè)備的使用壽命。保養(yǎng)時應(yīng)按照設(shè)備說明書上的方法進行，包括更換潤滑油、清洗機械部件、檢查電纜接頭等。

此外，SEM掃描電鏡的日常維護還包括以下步驟：

1、保持儀器操作臺面整潔，不允許身體倚靠，凍水機等裝置不可放置重物。

2、開機時一定要先開水冷系統(tǒng)，并要檢查冷卻水的溫度，關(guān)機至少15分鐘后才能關(guān)閉冷卻水。

3、進樣品時，檢查Z軸和T軸的位置，緩緩關(guān)閉樣品室，確保進樣倉門徹底關(guān)閉，才可點擊EVAC按鈕抽氣。

4、移動樣品時，將載物臺向X軸和Y軸方向移動，從而移動樣品，并保證小于Z大允許值。

5、傾斜樣品時要十分當(dāng)心，不要撞壞探頭，要根據(jù)樣品臺和樣品狀況選擇傾斜角度，注樣品可傾斜的Z大安全角度B須小于允許值，防止樣品撞傷物鏡極靴。

6、用BSE探頭時不可傾斜樣品臺。

7、樣品只有在加速電壓關(guān)閉的情況下才可取出，不作樣品掃描時要關(guān)閉高壓。

8、放氣時HTB須處于關(guān)閉狀態(tài)，B須等待120秒后才可輕輕拉開樣品交換倉的門。

以上信息僅供參考，建議查閱掃描電鏡的使用說明書或咨詢專業(yè)技術(shù)人員，以獲取更詳細和準(zhǔn)確的維護步驟。