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SEM掃描電鏡維護(hù)保養(yǎng)步驟介紹

日期:2024-04-09 09:37:29 瀏覽次數(shù):80

掃描電鏡的維護(hù)保養(yǎng)是確保其正常運(yùn)行和延長(zhǎng)使用壽命的重要步驟。以下是一些關(guān)鍵的維護(hù)保養(yǎng)步驟:

定期清洗:使用專(zhuān)門(mén)的清洗劑和工具定期清洗SEM掃描電鏡的各個(gè)部件,保持設(shè)備的清潔度和穩(wěn)定性。避免使用有機(jī)溶劑和酸堿性強(qiáng)的清潔劑,以防對(duì)設(shè)備造成損害。

定期更換耗材:電子槍、電子透鏡、檢測(cè)器等耗材在長(zhǎng)期使用后可能會(huì)出現(xiàn)磨損和老化現(xiàn)象,需要定期檢查和更換。更換時(shí)應(yīng)選擇原廠配件,避免使用不合適的配件對(duì)設(shè)備造成損害。

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定期校準(zhǔn):按照設(shè)備說(shuō)明書(shū)上的方法,定期校準(zhǔn)各個(gè)部件,以保證設(shè)備的精度和準(zhǔn)確性。避免操作不當(dāng)造成誤差或設(shè)備損壞。

物鏡光闌的維護(hù):物鏡光闌是掃描電鏡的關(guān)鍵部件,工作狀態(tài)下處于加熱狀態(tài)。在關(guān)閉光闌后,需要冷卻半小時(shí)再關(guān)掉冷卻循環(huán)水。

樣品的制備與存儲(chǔ):樣品B穩(wěn)定,不能存在松動(dòng)、震動(dòng)等不穩(wěn)定因素。樣品進(jìn)入交換室之前要仔細(xì)檢查,確保沒(méi)有易揮發(fā)的物質(zhì)及未粘牢的粉末,以免破壞樣品室的真空度。樣品存儲(chǔ)時(shí)應(yīng)放在干燥的環(huán)境中,避免受到擠壓、刮擦等因素影響。

送樣桿和交換室的清潔:這些部件在換樣品時(shí)經(jīng)常暴露在大氣中,容易受到灰塵的污染,降低真空密閉效果。因此,要及時(shí)清潔,以防灰塵帶入樣品室的真空系統(tǒng)中污染光闌。

機(jī)械泵與循環(huán)水的維護(hù):經(jīng)常檢查機(jī)械泵的油液面,若低于標(biāo)準(zhǔn)線(xiàn)應(yīng)及時(shí)添加或更換機(jī)械泵油。定期檢查循環(huán)水狀況,若水位低于警戒線(xiàn)或水質(zhì)混濁變質(zhì),應(yīng)及時(shí)添加或更換純凈水,以防循環(huán)系統(tǒng)堵塞和結(jié)垢。

此外,SEM掃描電鏡是一種高精密儀器,使用過(guò)程中B須嚴(yán)格按照規(guī)定步驟和操作。禁止在掃描電鏡室內(nèi)飲食、吸煙、喧嘩和進(jìn)行其他非SEM掃描電鏡操作,同時(shí)禁止接通手機(jī)等無(wú)線(xiàn)設(shè)備。在掃描電鏡進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間操作時(shí),B須合理安排人員,避免疲勞導(dǎo)致人員錯(cuò)誤操作。

通過(guò)執(zhí)行這些維護(hù)保養(yǎng)步驟,可以確保SEM掃描電鏡的正常運(yùn)行,提高其穩(wěn)定性和使用壽命,從而為科研和工業(yè)生產(chǎn)提供準(zhǔn)確、可靠的數(shù)據(jù)支持。

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