sem掃描電鏡樣本噴金如何操作
日期:2024-06-05 10:56:57 瀏覽次數(shù):155
掃描電鏡樣本噴金操作是為了提高非導(dǎo)電樣品的導(dǎo)電性,使其適用于SEM掃描電鏡觀察。以下是清晰的噴金操作流程,結(jié)合了參考文章中的相關(guān)數(shù)字和信息:
1. 樣品準(zhǔn)備
樣品選擇:選擇需要進(jìn)行噴金的非導(dǎo)電樣品。
固定樣品:將樣品固定在掃描電鏡樣品支持體上,如SEM掃描電鏡標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)或?qū)щ娔z片等。確保樣品支持體干凈、平整,并且能夠在掃描電鏡觀察中保持穩(wěn)定的形態(tài)。
清洗樣品:使用超聲波清洗、溶劑清洗等方法去除樣品表面的油脂、灰塵、污染物等,以確保金屬涂層與樣品表面的良好結(jié)合。
2. 濺射噴金
放置靶材:將金屬靶材(如金、鉑、銅等)放置在濺射噴金儀中。
抽真空:在濺射噴金之前,需要抽真空至真空表指針穩(wěn)定。這是為了在高真空環(huán)境下進(jìn)行濺射,以減少氣體分子對電子束的干擾。
濺射過程:
施加高電壓于金屬靶材上,使金屬離子離開靶材表面。
金屬離子經(jīng)過加速并擊中樣品表面,形成金屬涂層。
根據(jù)具體的SEM掃描電鏡樣品和金屬靶材的性質(zhì),控制濺射參數(shù),如電壓、電流、濺射時(shí)間等。通常,電流可設(shè)定在10mA左右,噴金時(shí)間通常為1分鐘。
3. 檢查涂層
使用顯微鏡等方法檢查金屬涂層的質(zhì)量,包括涂層的均勻性、致密性等。
如有需要,根據(jù)檢查結(jié)果進(jìn)行后續(xù)處理,如退火等,以改善涂層性質(zhì)。
4. 注意事項(xiàng)
濺射噴金涂層的厚度應(yīng)根據(jù)具體樣品和掃描電鏡觀察需求來選擇。過厚的涂層可能會(huì)影響SEM掃描電鏡觀察的分辨率和樣品表面形態(tài)。
在制備過程中,應(yīng)仔細(xì)控制濺射參數(shù),以獲得高質(zhì)量的金屬涂層。
5. 后續(xù)操作
在噴金完成后,按照掃描電鏡儀器的操作手冊或相關(guān)規(guī)定進(jìn)行后續(xù)的操作,如開機(jī)、圖像調(diào)節(jié)、圖像存儲(chǔ)、關(guān)機(jī)等。
遵循以上步驟和注意事項(xiàng),可以確保SEM掃描電鏡樣本噴金操作的準(zhǔn)確性和有效性,從而獲得高質(zhì)量的掃描電鏡觀察結(jié)果。
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