SEM掃描電鏡的結(jié)構(gòu)介紹
日期:2024-06-06 11:13:09 瀏覽次數(shù):54
掃描電鏡是一種利用電子束掃描樣品表面從而獲得樣品表面形貌、結(jié)構(gòu)、成分等信息的分析儀器。以下是SEM掃描電鏡的主要結(jié)構(gòu)介紹:
電子槍?zhuān)?/span>
SEM掃描電鏡的核心部件之一,用于產(chǎn)生高能電子束。常見(jiàn)的電子槍類(lèi)型有熱發(fā)射電子槍和場(chǎng)發(fā)射電子槍。場(chǎng)發(fā)射電子槍能產(chǎn)生更高亮度和更小束斑的電子束,從而提高分辨率。
電磁透鏡:
由多個(gè)電磁線(xiàn)圈和極靴組成,用于聚焦電子束并控制其掃描范圍。電磁透鏡可以放大或縮小電子束的直徑,從而調(diào)整掃描圖像的分辨率。
掃描線(xiàn)圈:
位于電磁透鏡下方,用于控制電子束在樣品表面的掃描路徑。通過(guò)改變掃描線(xiàn)圈中的電流,可以實(shí)現(xiàn)電子束在樣品表面的二維掃描。
樣品室:
放置待測(cè)樣品的區(qū)域,通常配備有樣品臺(tái)和樣品臺(tái)控制器,用于精確移動(dòng)和定位樣品。樣品室還需要維持高真空環(huán)境,以防止電子束與氣體分子碰撞導(dǎo)致能量損失和圖像質(zhì)量下降。
探測(cè)器:
用于收集電子束與樣品相互作用后產(chǎn)生的各種信號(hào),如二次電子、背散射電子、X射線(xiàn)等。不同的探測(cè)器對(duì)應(yīng)不同的信號(hào)收集和分析方式,可以獲取關(guān)于樣品表面形貌、成分、結(jié)構(gòu)等多方面的信息。
信號(hào)處理與顯示系統(tǒng):
將探測(cè)器收集到的信號(hào)進(jìn)行放大、處理和轉(zhuǎn)換,Z終以圖像或數(shù)據(jù)的形式顯示在屏幕上。信號(hào)處理系統(tǒng)通常包括放大器、濾波器、模數(shù)轉(zhuǎn)換器等組件,以確保信號(hào)的準(zhǔn)確性和可靠性。
真空系統(tǒng):
維持掃描電鏡內(nèi)部高真空環(huán)境的系統(tǒng),包括真空泵、真空計(jì)、真空管道等組件。高真空環(huán)境是SEM掃描電鏡正常工作的必要條件,可以防止電子束與氣體分子碰撞導(dǎo)致能量損失和圖像質(zhì)量下降。
控制系統(tǒng):
用于控制掃描電鏡的各個(gè)部件和參數(shù),如電子束的加速電壓、掃描速度、放大倍數(shù)等。控制系統(tǒng)通常包括計(jì)算機(jī)、電子控制單元、操作軟件等組件,以實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化控制和數(shù)據(jù)處理。
總的來(lái)說(shuō),SEM掃描電鏡的結(jié)構(gòu)復(fù)雜且精密,各個(gè)部件協(xié)同工作以實(shí)現(xiàn)高分辨率、高靈敏度的樣品分析。在實(shí)際應(yīng)用中,根據(jù)待測(cè)樣品的特點(diǎn)和需求,可以選擇合適的電子槍類(lèi)型、探測(cè)器和掃描模式等參數(shù)來(lái)獲取Z佳的圖像和數(shù)據(jù)。
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