SEM掃描電鏡有哪幾種工作模式?
日期:2024-06-26 10:03:53 瀏覽次數:77
SEM掃描電鏡具有多種工作模式,以滿足不同樣品和分析需求。以下是常見的幾種工作模式及其特點:
高真空模式:
基本工作模式,樣品和檢測器被置于高真空環(huán)境中。
適用于大多數樣品觀察和分析,尤其是固態(tài)樣品。
提供清晰的圖像和較高的分辨率。
低真空模式:
允許在較高的氣壓下進行觀察,無需對樣品進行涂覆或處理。
適用于非導電樣品、生物樣品、濕潤樣品和松散樣品等。
提供更高的樣品適應性,并減少電子束與氣體相互作用產生的充電效應。
透射電子顯微鏡模式(TEM模式):
某些SEM設備具備此模式,允許使用透射電子探測器進行樣品的透射電子顯微觀察。
提供更高的分辨率和更詳細的樣品內部信息,適用于納米級別的結構和成分分析。
掃描透射電子顯微鏡模式(STEM模式):
將電子束掃描到樣品上,同時收集透射電子的散射信號。
用于樣品表面的高分辨率成像和元素分析,在高分辨率成像和原子級結構分析方面具有很高的能力。
分析模式:
SEM可以與各種分析技術結合使用,如能量色散X射線光譜(EDS)和電子背散射衍射(EBSD)。
用于獲取樣品的化學成分、結晶結構、晶格取向等信息。
成像模式:
電子束從電子槍發(fā)射出來后,經過聚焦系統聚焦到一個小的點上,這個點稱為激發(fā)點。
電子束從激發(fā)點掃描樣品的表面,與樣品相互作用后產生的信號被探測器捕捉到,從而獲取樣品表面的形貌信息。
具體的成像模式:
次外殼成像模式(SEI):研究樣品表面形貌特征,如表面粗糙度、形態(tài)等。
高角度底層成像模式(BSE):觀察帶有原子序數反比于信號強度的圖像,用于研究材料表面顯微組織結構。
散射電子成像模式(SED):顯示材料組織結構、缺陷、晶界面等信息。
反射電子成像模式(RSE):改變電子束的入射角度,得到自然的反相成像,用于材料表面缺陷的直接觀測。
每種工作模式具有不同的優(yōu)勢和適用范圍,具體的選擇應根據樣品類型、所需分辨率、分析目的和設備功能來確定。在使用掃描電鏡之前,建議參考SEM掃描電鏡制造商的指南和技術規(guī)格,以了解具體設備的工作模式和操作方法。
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